Intel приступила к ранним тестам квалификации оборудования для влажного травления от ACM Research в рамках подготовки к производству следующего поколения 14A, запуск которого запланирован на 2027 год. Эти испытания привлекли внешнее политическое внимание, так как ACM Research имеет значительные исследовательские и производственные мощности в Китае и ранее сталкивалась с американскими ограничениями для своих зарубежных подразделений. Ситуация осложняется прошлой инвестицией в ACM через Walden International, компанию, связанную с Лип-Бу Танем, ныне возглавляющим Intel. Пока Intel не приняла решение о внедрении инструментов ACM для 14A и официально не комментировала процесс.
Тестирование нового оборудования вызвало политический контроль и призывы к ужесточению правил закупок для компаний, получающих государственную поддержку. Несмотря на то, что ACM Research зарегистрирована в США, её расширение исследований и операций в Китае воспринимается как потенциальная угроза безопасности для Intel, стремящейся сохранить американскую независимость в полупроводниковой отрасли. При этом Intel уже подтвердила использование литографических систем High-NA EUV компании ASML из Европы, которые запрещено продавать китайским организациям. В отличие от ACM, ASML имеет офисы в Китае для операционных целей и не подвергается столь же жесткому контролю.
Влажные травильные системы представляют собой химические ванны для равномерного удаления материала, что делает их ключевыми для селективной очистки и удаления окислов на кристалле. Крупнейшие производители чипов, такие как Intel, Samsung и TSMC, обычно проверяют новые инструменты через месячные прогоны пластин и настройку рецептов узлов. Кроме того, экономический фактор также играет роль: оборудование поставщиков, ориентированных на Китай, может быть значительно дешевле западных аналогов. ACM Research при этом поставляет оборудование и американским заказчикам, имея сервисный центр рядом с полупроводниковым кластером Орегона.
Об авторе
